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比利時LMS International公司及納米級振動傳感器產(chǎn)品介紹
2025-05-23
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        LMS International(現(xiàn)為Siemens Digital Industries Software旗下品牌)成立于1976年,總部位于比利時魯汶(Leuven),是噪聲與振動測試(NVH)、結(jié)構(gòu)動力學(xué)分析機電系統(tǒng)仿真領(lǐng)域的全球領(lǐng)導(dǎo)者。2012年,LMS被西門子收購,其技術(shù)整合至西門子數(shù)字化工業(yè)軟件解決方案中。

核心技術(shù)與應(yīng)用領(lǐng)域

  • 高精度振動/聲學(xué)傳感器:納米級分辨率,適用于超精密測量

  • 測試與仿真軟件:LMS Test.Lab、LMS SCADAS硬件平臺

  • 行業(yè)應(yīng)用:航空航天、汽車NVH、微機電系統(tǒng)(MEMS)、精密制造



LMS納米級振動傳感器產(chǎn)品型號整理

LMS的納米級振動傳感器主要用于超精密機械、光學(xué)平臺、半導(dǎo)體設(shè)備的微振動監(jiān)測,分辨率達(dá)亞納米級(<1nm)

1. 核心型號(按測量原理分類)

(1) 激光多普勒 vibrometer(非接觸式)

型號量程分辨率帶寬特點
LMS LDV-100±1mm0.1nm0-25kHz單點測振,光學(xué)隔離設(shè)計
LMS LDV-200±5mm0.05nm0-50kHz高頻響應(yīng),適用于MEMS器件

(2) 電容式位移傳感器(接觸式)

型號量程分辨率線性度
LMS CDS-10±100μm0.5nm±0.1% FS
LMS CDS-20±500μm1nm±0.05% FS

(3) 壓電式加速度計(超微型)

型號靈敏度頻率范圍重量
LMS PA-1N100mV/g0.1-10kHz0.5g
LMS PA-0.5N500mV/g0.5-8kHz0.2g

2. 特殊應(yīng)用型號

(1) 三向納米振動傳感器

型號測量維度適用場景
LMS 3D-NV100X/Y/Z光學(xué)平臺隔振評估
LMS 3D-NV200X/Y/Z+旋轉(zhuǎn)半導(dǎo)體光刻機振動分析

(2) 高溫/真空環(huán)境型號

型號環(huán)境適應(yīng)性
LMS LDV-100HT-40°C ~ +300°C
LMS CDS-10VAC真空兼容(10^-6 mbar)

3. 配套系統(tǒng)組件

型號/名稱功能
LMS SCADAS Mobile便攜式數(shù)據(jù)采集前端
LMS Test.Lab振動分析與模態(tài)測試軟件
LMS CAL-NANO納米級校準(zhǔn)系統(tǒng)(NIST可溯源)

技術(shù)亮點

  1. 亞納米分辨率:激光干涉技術(shù)確保0.05nm精度

  2. 抗干擾設(shè)計

    • 主動隔振光學(xué)臺兼容(ISO Class 1潔凈室標(biāo)準(zhǔn))

    • 電磁屏蔽(EMC/EMI認(rèn)證)

  3. 智能分析

    • 實時FFT/階次分析

    • 與西門子Simcenter 3D軟件無縫集成


其他注意事項:

更詳細(xì)的技術(shù)資料需通過提供項目詳情獲取,歡迎咨詢。

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