TRUMPF是一家全球領(lǐng)先的德國(guó)高科技企業(yè)，成立于1923年，總部位于斯圖加特附近的迪琴根（Ditzingen）。公司專注于工業(yè)激光技術(shù)、機(jī)床、電子設(shè)備及智能制造解決方案，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于汽車、航空航天、電子、醫(yī)療等行業(yè)。TRUMPF在激光技術(shù)領(lǐng)域尤其突出，是全球極少數(shù)能提供極紫外（EUV）光刻機(jī)所需激光光源的供應(yīng)商之一，支撐半導(dǎo)體制造中的先進(jìn)制程（如7nm及以下芯片生產(chǎn)）。

TRUMPF EUV激光光源產(chǎn)品

TRUMPF為ASML的EUV光刻系統(tǒng)提供關(guān)鍵的 CO?激光等離子體（LPP）光源 技術(shù)。以下是其EUV相關(guān)核心產(chǎn)品與技術(shù)：

1. EUV激光放大器

型號(hào)：TRUMPF CO?激光放大器系列

用于激發(fā)錫滴產(chǎn)生等離子體，生成13.5nm波長(zhǎng)的EUV光。

高功率、高穩(wěn)定性，支持ASML的NXE系列EUV光刻機(jī)。

2. 預(yù)脈沖激光系統(tǒng)

功能：通過(guò)YAG激光器對(duì)錫滴進(jìn)行預(yù)整形，確保CO?主激光高效激發(fā)等離子體。

EUV光刻系統(tǒng)，其激光光源技術(shù)是EUV光刻機(jī)的核心組件之一。

注意事項(xiàng)

TRUMPF直接公開(kāi)EUV激光光源的詳細(xì)型號(hào)參數(shù)（因涉及尖端技術(shù)保密）。

TRUMPF在EUV領(lǐng)域的激光技術(shù)主要基于高功率CO?激光系統(tǒng)（如30kW級(jí)激光器），具體型號(hào)可能以定制化方案為主。

更詳細(xì)的EUV技術(shù)資料需通過(guò)來(lái)提供項(xiàng)目詳情獲取，歡迎咨詢。